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在工业用无尘室其清净度规格方面,有美国联邦标准规格 FS209E〈U.S Federal Standard 209E〉及日本国家标准 JIS B 9920 等多种参考规范。
在生物化、生物医药用无菌检测室其的要求尺寸有荷兰航空公司月球基地总署〈NASA〉要求标准〈NHB 5340.2〉是年轻化。无尘车间室的结构设计大多数根据的使用要求状态充分反思书再决定的用于几种要求标准对于系数。JIS B 9920标准无尘等级的浓度上限 (pcs/m3)
| 粒径 | 无尘等级 | |||||||
| (μm) | class 1 | class 2 | class 3 | class 4 | class 5 | class 6 | class 7 | class 8 |
| 0.1 | 101 | 102 | 103 | 104 | 105 | (106) | (107) | (108) |
| 0.2 | 2 | 24 | 236 | 2360 | 23600 | ???? | ???? | ???? |
| 0.3 | 1 | 10 | 101 | 1010 | 10100 | 101000 | 1010000 | 10100000 |
| 0.5 | (35) | (0.3) | 35 | 350 | 3500 | 55000 | 350000 | 3500000 |
| 5 | ???? | ???? | ???? | ???? | 29 | 290 | 2900 | 29000 |
| 无尘等级 | 0.1~0.3 | 0.1~0.5 | 0.1~5.0 | 0.3~5.0 | ||||
| 粒径范围 | ||||||||
| 附注 | 1 | 第3A5,6,7和8级相当于美国联邦标准209D(和控制环境的工作站)相对的第1,100,1000,10000和100000。 | ||||||
| 2 | 浓度的上限代表等于或大于指定颗粒大小的洒度。 | |||||||
| 3 | 浓度的上限是指颗粒大小为0.1μm和0.5μm的量。 | |||||||
| 4 | 在括弧中的数字是指颗粒大小不同民指定大小的量,它们只供评估无尘等级和只当参考用而已。 | |||||||