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无尘室等级如何定义
无尘车间室分等级是怎样的举例

无尘室的等级说明

采用者在开洁净室的登级给供应商时，有下述有几个小销售技巧。 先是是高等级设定的模试内容如下： Class X (at Y μm ) 至少X是洁净车间室的平衡等级保护，譬如100或10000孩他，Y是颗粒直径如0.2μm , 0.5μm等，可复选。喻意就应用者要求，该洁净车间室水分子纯度，在只要颗粒直径务必达到该平衡等级保护的底限。只要还可以以减少纷争，如下是几块列子： Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm) Class 100(0.2μm , 0.5μm ) Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm ) 在Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100，1000，10000....)，普通看一粒级既能。在Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10，1.... )，普通需看多好几个粒级。 第五个要领是规范的动态，列如 ： Class X (at Y μm )，At-rest 供销商商就很清晓得洁净室要在At-rest形态下项目结束验收。 六个方式 是自订水分子含量超出，一样 在As-built时洁净室室都很干净整洁，水分子操作水平测试英文难于，这时候就能够毫不犹豫把工程验收超出低平，这类：

Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built 
Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built 

这样一来做的的目的是加强组织领导脱尘室在Operational形态时，还是有可以的水分子有效控制效果。 　

以下两个表是Fed-Std-209E的等级定义，和ISO-14644的等级定义。

　

Fed-Std-209E洁净车间度名词解释 

Class Name		Class Limits
		0.1μm		0.2μm		0.3μm		0.5μm		5μm
		Volume Units		Volume Units		Volume Units		Volume Units		Volume Units
SI	U.S.	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)
M 1		350	9.91	75.7	2.14	30.9	0.875	10.0	0.283	-	-
M 1.5	1	1,240	35.0	265	7.50	106	3.00	35.3	1.00	-	-
M 2		3,500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83	-	-
M 2.5	10	12,400	350	2,650	75.0	1,060	30.0	353	10.0	-	-
M 3		35,000	991	7,570	214	3,090	87.5	1,000	28.3	-	-
M 3.5	100	-	-	26,500	750	10,600	300	3,530	100	-	-
M 4		-	-	75,700	2140	30,900	875	10,000	283	-	-
M 4.5	1,000	-	-	-	-	-	-	35,300	1,000	247	7.00
M 5		-	-	-	-	-	-	100,000	2,830	618	17.5
M 5.5	10,000	-	-	-	-	-	-	353,000	10,000	2,470	70.0
M 6		-	-	-	-	-	-	1,000,000	28,300	6,180	175
M 6.5	100,000	-	-	-	-	-	-	3,530,000	100,000	24,700	700
M 7		-	-	-	-	-	-	10,000,000	283,000	61,800	1,750

　

ISO-14644洁净室度确定 

ISO classification number(N)	Maximum concentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1).
	0.1mm	0.2mm	0.3mm	0.5mm	1mm	5mm
ISO Class 1	10	2
ISO Class 2	100	24	10	4
ISO Class 3	1 000	237	102	35	8
ISO Class 4	10 000	2 370	1 020	352	83
ISO Class 5	100 000	23 700	10 200	3 520	832	29
ISO Class 6	1 000 000	237 000	102 000	35 200	8 320	293
ISO Class 7				352 000	83 200	2 930
ISO Class 8				3 520 000	832 000	29 300
ISO Class 9				35 200 000	8 320 000	293 000
NOTE Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level. Equation (1): Cn = 10NX (0.1/D)2.08其中Cn是微粒浓度，N是洁净度，D是粒径

  更加综上所述两表自己可发现

1. 209E的公制和英制两套标准，虽然有公式做互换，但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表，徒然造成混淆
2. 在两表中0.5mm几乎出现在每一个等级定义中，表示粒径0.5mm的粒子非常具有代表性
3. 在洁净度的分类上，不管是在高洁净度，或是低洁净度，ISO-14644的范围比209E都来的广，因此具有未来性