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洁净度职位 |
尘粒比较大准许数 |
微生物检测体比较大准许数 |
ISO级数 |
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≥0.5μm |
≥5μm |
浮游菌/m³ |
尘降菌/皿 |
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100级 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5级 |
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100级 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5级 |
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100级 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5级 |
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100级 |
3500 |
0 |
5 |
1 |
ISO,5级 |
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洁净间等级分 |
百级 | 百级 | 五万级 | 四五万级 |
| ≥0.5μm(个/m³) | ≤3500 | ≤35000 | ≤350000 | ≤1050000 |
| ≥0.5μm(个/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
| ≥0.5μm(个/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
| ≥0.5μm(个/m³) | ≤0 | ≤2000 | ≤20000 | ≤60000 |
| 动压差 | 相临不一級別的空间的负压差任何时候值应>5pa;超净室与窒内的静电感应差>10pa | |||
| 光照强度 | 寻常宜为300LX,若技艺上的特殊化规范的要求则照技艺规范的要求 | |||
| 的噪音 | ≤65db(A) | |||
| 气温 | 一样 为18℃~26℃ | |||
| 对于绝对湿度 | 基本为45%~65% | |||
| 换风多少次 | ≥100(次/h) | ≥50(次/h) | ≥20(次/h) | ≥10(次/h) |